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半导体行业

AOI 外观尺寸测量

应用描述

采用线阵16K相机、背光加拱形光方式,对芯片表面进行拍摄,然后软件找直线、几何关系测量尺寸。视野大小:60 mm 。精度要求: 0.005 mm 。

标签: 环形光源
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